Beschaffung einer HF-Gasphasen-Ätzanlage für Forschungszwecke. Dieses Werkzeug ist entscheidend für die Entwicklung neuer Halbleitertechnologien.
Verfahrensart
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferungen
Haupt-CPV
42990000 – Sonstige Sondermaschinen.
Rechtsgrundlage
32014L0024
Angebotsfrist
32 Tage verbleibend(LOT-0000)
Veröffentlicht
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