Atomlagenabscheidungsanlage (ALD) für die Universität Heidelberg
Bekanntmachung: Vergabeverfahren zur Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)
Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD): betriebsfertige Übergabe inklusive Funktionstest, Einweisung und Abnahme eines Systems für thermische und plasma-gestützte Atomlagenabscheidung von hochpräzisen Dünnfilmen auf dreidimensional vorstrukturierten und planaren Substraten mit kontrollierten Schichtdicken im Nanometerbereich. Das System soll die Abscheidung supraleitender Filme (insbesondere Niobiumnitrit), dielektrischer Dünnfilme, magnetischer Materialien und High-k-Dielektrika ermöglichen. Es ist mit präziser in-situ Schichtdickenüberwachung auszustatten. Die Leistung umfasst die Lieferung eines Neugerätes, fristgerechte Lieferung "Frei Bordsteinkante inkl. Abladen", Funktionstest, Einweisung und Inbetriebnahme, Abnahme vor Ort sowie eine Schulung vor Ort (3 Tage à 8 Stunden) für 2 Mitarbeiter. Maximales Budget: 1.039.000,00 EUR (inklusive Mehrwertsteuer, Zölle und etwaiger Skonti).
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