Positionierungssystem für experimentelle Mikromagnetisierungsprozesse
Positionierungssystem für experimentelle Mikromagnetisierungsprozesse: mikrometergenaue Positionierung von magnetischen Schreibköpfen zur Magnetisierung von permanentmagnetischen Dünnfilmschichten. Das System umfasst eine XYR-Stage für laterale Translation und Substratrotation sowie eine Z-Achse für vertikale Translation. Die Z-Achse wird an einer spezifizierten Traverse montiert, ermöglicht vertikale Annäherung im Submikrometerbereich und definierte Kontaktherstellung des Schreibkopfs mit dem Substrat. Beide Teilsysteme müssen für spezifizierte Positionierungspräzision und Trajektorienbewegungen aufeinander abgestimmt sein. Die Traverse benötigt Aufnahmen für zwei weitere, identische Schreibköpfe zur potenziellen Nachrüstung. Die mechanischen Aufnahmen müssen so ausgelegt sein, dass jeder Schreibkopf jede Position auf einem 150 mm Wafer erreichen kann; weitere Spezifikationen laut Vergabeunterlagen.
AUFTRAGGEBER
Name
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - Stuttgart
Stadt
Köln
Land
DE
KLASSIFIZIERUNG
Verfahrensart
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferungen
Haupt-CPV
38300000, Messinstrumente.
WEITERE DETAILS
EU-finanziert
Ja
KMU-geeignet
Nein
Elektronische Einreichung
Erforderlich
Rechtsgrundlage
32014L0024
FRISTEN & ZEITRAUM
Angebotsfrist
32 Tage verbleibend(LOT-0001)
Veröffentlicht