Rapid Thermal Annealing System für Metall/Backend
Beschaffung eines hochmodernen Rapid Thermal Annealing (RTA) Systems für Metall- und Backend-Anwendungen. Dieses System ist entscheidend für die Weiterentwicklung von Halbleitertechnologien.
AUFTRAGGEBER
Name
Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Stadt
Den Haag
Land
NL
KLASSIFIZIERUNG
Verfahrensart
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferungen
Haupt-CPV
31712000, Mikroelektronikmaschinen und -apparate und Mikrosysteme.
Weitere CPV
38000000, Labor-, optische und Präzisionsgeräte (ohne Brillen)
WEITERE DETAILS
EU-finanziert
Ja
Elektronische Einreichung
Erforderlich
Rechtsgrundlage
32014L0024
FRISTEN & ZEITRAUM
Angebotsfrist
27 Tage verbleibend(LOT-0000)
Veröffentlicht