Vollständig integrierte Präzisions-Ferroelektrika- und Piezoelektrika-Analyseplattform
Lieferung einer Präzisions-Ferroelektrika- und Piezoelektrika-Analyseplattform: bestehend aus sieben Teilsystemen (Messkern, optische Messtechnik, thermische Module, HV-Subsystem, Befestigung und Sondierung, Workstation, Infrastruktur). Die Plattform muss eine umfassende, hochauflösende ferroelektrische und piezoelektrische Charakterisierung ferroischer Materialien (Schüttkeramiken, ultradünne Filme, vollständige Wafer) über einen breiten Temperaturbereich ermöglichen. Sie dient der Grundlagenforschung und dem industriellen Benchmarking fortschrittlicher ferroischer und piezoelektrischer Materialien sowie der Präzisionscharakterisierung von Materialeigenschaften in verschiedenen Entwicklungsstadien, von der Dünnschichtwachstum und Schüttkeramik-Synthese bis zur Wafer-Level-Bauelementintegration und Zuverlässigkeitsprüfung.
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