ALD-Anlage für metallische und metallnitridische Dünnschichten für CEA Grenoble
Lieferung und Inbetriebnahme einer vollautomatischen ALD-Anlage (Atomic Layer Deposition): Die Anlage ist für die Verarbeitung von 300 mm Wafern (oder 200 mm mit 200-300 mm Adaptern) vorgesehen, zum Abscheiden von Metallen und Metallnitriden für nichtflüchtige Speicher und fortschrittliche Kontakte. Eine Reinigungslösung zur Verbesserung der Oberflächenqualität vor der Abscheidung ist ebenfalls enthalten. Eine obligatorische Option umfasst eine Wartungsschulung Level 1. Fakultative Optionen beinhalten Wärmetauscher und Kühlsysteme, einen elektrischen Transformator, eine erweiterte Wartungsschulung, präventive und korrektive Wartungsdienste sowie Ersatzteile, eine Garantieverlängerung um ein Jahr und den Transport inklusive Versicherung gemäß DAP CEA Grenoble (Incoterms ICC 2020).
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