FIB-SEM System mit analytischen Techniken und Nanoindentation
Lieferung eines mikroskopischen FIB-SEM-Systems (skannendes Elektronenmikroskop mit Ionenstrahl) mit der Möglichkeit zur Deposition von mindestens drei Materialien (Platin, Kohlenstoff, Wolfram) und mit nachfolgenden analytischen Techniken zur detaillierten Materialanalyse (4DSTEM, EBSD, EDS, Nanoindentation, TOF-SIMS). Die Mindestanforderungen sind in den technischen, kommerziellen und sonstigen Vertragsbedingungen der Vergabeunterlagen, insbesondere der technischen Spezifikation und dem verbindlichen Vertragsentwurf, festgelegt.
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