Aktivted-388383-2026
Kauf einer Plasmaätz-Anlage für die Westsächsische Hochschule Zwickau
Wir suchen eine hochmoderne DRIE/RIE-Plasmaätz-Anlage zur präzisen Bearbeitung von Silizium-Wafern. Die Anlage muss detaillierte Ätzraten und Endpunktdetektionen für verschiedene Materialien und Strukturen gewährleisten.
AUFTRAGGEBER
Name
Westsächsische Hochschule Zwickau
Stadt
Zwickau
Land
DE
KLASSIFIZIERUNG
Verfahrensart
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferungen
Haupt-CPV
38000000, Labor-, optische und Präzisionsgeräte (ohne Brillen)
Weitere CPV
42990000, Sonstige Sondermaschinen.
31712330, Halbleiter.
WEITERE DETAILS
EU-finanziert
Ja
KMU-geeignet
Nein
Elektronische Einreichung
Erforderlich
Rechtsgrundlage
32014L0024
FRISTEN & ZEITRAUM
Angebotsfrist
35 Tage verbleibend(LOT-0001)
Veröffentlicht