Lieferung eines Transporters

Positionierungssystem für experimentelle Mikromagnetisierungsprozesse

Positionierungssystem für experimentelle Mikromagnetisierungsprozesse: mikrometergenaue Positionierung von magnetischen Schreibköpfen zur Magnetisierung von permanentmagnetischen Dünnfilmschichten. Das System umfasst eine XYR-Stage für laterale Translation und Substratrotation sowie eine Z-Achse für vertikale Translation. Die Z-Achse wird an einer spezifizierten Traverse montiert, ermöglicht vertikale Annäherung im Submikrometerbereich und definierte Kontaktherstellung des Schreibkopfs mit dem Substrat. Beide Teilsysteme müssen für spezifizierte Positionierungspräzision und Trajektorienbewegungen aufeinander abgestimmt sein. Die Traverse benötigt Aufnahmen für zwei weitere, identische Schreibköpfe zur potenziellen Nachrüstung. Die mechanischen Aufnahmen müssen so ausgelegt sein, dass jeder Schreibkopf jede Position auf einem 150 mm Wafer erreichen kann; weitere Spezifikationen laut Vergabeunterlagen.