Mikro-Dispens-System
Beschaffung eines Mikro-Dispens-Systems zum Abscheiden hochaufgelöster Strukturen für die Erzeugung von Mikrostrukturen mit höchster geometrischer Präzision und einer Auflösung im einstelligen Mikrometerbereich. Das System ermöglicht die Verarbeitung hochviskoser Pasten (bis zu 2.500.000 cP) bei Strukturbreiten ab 1 µm, materialsparend und reproduzierbar, zur wirtschaftlichen Fertigung kleinster Funktionsstrukturen auf variablen Substrattopografien ohne Maskentechnik. Weitere Details laut Vergabeunterlagen.
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