Aktivhilma-EF-49196
Optisches Spannungs-Messgerät für Folien
Beschaffung eines automatisierten 200-mm-Systems zur berührungslosen Messung von Folinspannungen und Waferverformungen mittels Laser-Scanning für Reinräume. Das System beinhaltet eine Kassettenschleuse, Roboterhandling und Analysesoftware.
AUFTRAGGEBER
Name
VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
Land
FI
KLASSIFIZIERUNG
Verfahrensart
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferungen
Haupt-CPV
38000000, Labor-, optische und Präzisionsgeräte (ohne Brillen)
WEITERE DETAILS
KMU-geeignet
Ja
Elektronische Einreichung
Erforderlich
Rechtsgrundlage
32014L0024
FRISTEN & ZEITRAUM
Angebotsfrist
11 Tage verbleibend(LOT-0000)
Veröffentlicht