Plasmaverstärktes chemisches Gasphasenabscheidungssystem
Bekanntmachung: Plasma enhanced chemical vapour deposition tool
Status
Aktiv
Angebotsfrist
166 Tage verbleibend
Auftraggeber
TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY13 weitere offene Ausschreibungen ansehen
Ort
Finnland
Verfahren
Verhandlungsverfahren ohne Teilnahmewettbewerb · Lieferungen
Kategorie
Labor-, optische und Präzisionsgeräte (ohne Brillen)
Veröffentlicht
Vergabenummer
hilma-EF-56248
Quelle
Plasmaverstärktes, automatisiertes Kassette-zu-Kassette-System zur chemischen Gasphasenabscheidung (PECVD) für die Abscheidung dielektrischer Dünnschichten (SiO#, SiN, TEOS, SiON, a Si) für Forschungs- und Pilotlinienanwendungen im VTT Micronova Reinraum.
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Elektronische Einreichung
Erforderlich
Rechtsgrundlage
32014L0024