Röntgenbeugungsgerät für Materialcharakterisierung
Röntgenbeugungsgerät zur zerstörungsfreien Charakterisierung synthetisierter Materialien: Bestimmung der Kristallstruktur und mikrostruktureller Parameter. Es ermöglicht die Analyse einer breiten Palette von Materialien (Dünnschichten, Pulver, Flüssigsuspensionen, Membranen) für Anwendungen wie Phasenidentifikation und -analyse, Rietveld-Verfeinerung, mikrostrukturelle Analyse, Reflektivitätsmessungen, reziproke Raumkartierung und Bestimmung von Restspannungen. Das Gerät ist Teil einer Prototyping-Linie für die „Mikrofabrikation von Halbleiterbauelementen“ im Rahmen des Projekts PNTS – „Nationale Plattform für Halbleitertechnologien“. Es muss hochauflösende Messungen, Flexibilität in der experimentellen Konfiguration sowie Detektionssysteme, Analysesoftware und sichere Betriebsmechanismen gewährleisten.
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