Sekundärionen-Massenspektrometer (SIMS)
Sekundärionen-Massenspektrometer (SIMS): 1 Stk. Hochempfindliches Instrument für tiefenprofilierte chemische Analyse von Halbleitermaterialien und -strukturen, mit hoher Tiefenauflösung und hohem Massenauflösungsvermögen. Ermöglicht präzises Dotierstoff- und Verunreinigungsprofiling sowie genaue Bestimmung von Schichtdicke und Homogenität, zur Charakterisierung von fortschrittlichen III-V- und diamantbasierten Bauelementstrukturen und epitaktischen Schichten, einschließlich 150 mm Substraten, für Fraunhofer IAF.
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