Ultrahochvakuum-Dünnschichtabscheidesystem
Lieferung eines Ultrahochvakuum-Dünnschichtabscheidesystems: Spezialgerät für das Wachstum von Dünnschichtstrukturen, konzipiert für Forschung und Produktentwicklung zur Herstellung besonders reiner und kontrollierter Strukturen im Ultrahochvakuum. Das System verarbeitet 200 mm Wafer und wird als Einzelanfertigung für die spezifischen Forschungsbedürfnisse von VTT, insbesondere für die Halbleiterfertigungsprozesse von VTT Micronova, maßgeschneidert. Die Installation erfolgt im Reinraum von Micronova für wissenschaftliche Zwecke. Die Anpassung umfasst Depositionsgeräte, Materialien, Verdampfungsgeräte, Vakuumpumpen, Gasleitungen, Kammerkonfigurationen, Sensoren und Messgeräte. Der Auftrag deckt Design, Herstellung und Installation dieser kundenspezifischen Anlage ab.
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