Aktivted-386607-2026
Upgrade eines Wolfram-CVD-Systems für High Aspect Ratio Gap-Fill
Wir suchen ein Upgrade für ein bestehendes 200 mm Wolfram-CVD-System, um gepulste Abscheidungen für High Aspect Ratio Gap-Fill Anwendungen zu ermöglichen. Dies beinhaltet Lieferung, Integration und Inbetriebnahme von Hard- und Software sowie Anpassungen für höhere Drücke.
AUFTRAGGEBER
Name
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Stadt
Frankfurt (Oder)
Land
DE
KLASSIFIZIERUNG
Verfahrensart
neg-w-call
Auftragsart
Lieferungen
Haupt-CPV
42990000, Sonstige Sondermaschinen.
Weitere CPV
31712100, Mikroelektronische Maschinen und Apparate.
WEITERE DETAILS
EU-finanziert
Ja
KMU-geeignet
Ja
Elektronische Einreichung
Erforderlich
Rechtsgrundlage
32014L0024
FRISTEN & ZEITRAUM
Angebotsfrist
30 Tage verbleibend(LOT-0001)
Veröffentlicht