Aktivhilma-EF-49774
Automatisches Metall-CMP-System mit Wafer-Reiniger für 200-mm-Halbleiterwafer
Beschaffung eines automatischen Metall-CMP-Systems mit integriertem Wafer-Reiniger zur Bearbeitung und Planarisierung von 200-mm-Halbleiterwafern, inklusive Installation und Inbetriebnahme.
AUFTRAGGEBER
Name
TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
Land
FI
KLASSIFIZIERUNG
Verfahrensart
neg-wo-call
Auftragsart
Lieferungen
Haupt-CPV
38000000, Labor-, optische und Präzisionsgeräte (ohne Brillen)
WEITERE DETAILS
Elektronische Einreichung
Erforderlich
Rechtsgrundlage
32014L0024
FRISTEN & ZEITRAUM
Angebotsfrist
184 Tage verbleibend(LOT-0000)
Veröffentlicht