Dual-Beam-FIB-System und Transmissionselektronenmikroskop

Lieferung, Installation, Inbetriebnahme und betriebsbereite Übergabe eines Dual-Beam-FIB/REM-Systems (Focused Ion Beam / Rasterelektronenmikroskop) einschließlich analytischer Detektorsysteme, Schulung und vollständiger Systemdokumentation. Das System dient primär der präzisen Probenpräparation (u.a. TEM-Lamellen, APT-Spitzen, Querschnitte und Defektfreilegungen) und sekundär der hochauflösenden bildgebenden, chemischen und strukturellen Charakterisierung (SEM, EDX, STEM, EBSD) für wissenschaftliche Forschungsprojekte. Schwerpunkte liegen auf reproduzierbarer, möglichst automatisierter TEM-Lamellen- und APT-Präparation (Lift-Out, Thinning, Polishing), 3D-Analytik (Serienschliff/Tomographie) mit quantitativer Auswertung, hochaufgelöster Abbildung in verschiedenen SEM-Modi inklusive ioneninduzierter Sekundärionen sowie korrelierter Bildgebung während der Bearbeitung, chemischer Analytik mittels EDX und kristallographischer Analytik mittels EBSD. Eine strukturierte Erfassung und Exportfähigkeit von Messdaten und Metadaten in gängige, nicht-proprietäre Formate zur Erfüllung von Anforderungen an Nachvollziehbarkeit, Langzeitverfügbarkeit und Forschungsdatenmanagement (FAIR-Prinzipien) ist erforderlich. Kernfunktionen umfassen Materialabtrag/Strukturierung (manuell und automatisiert) mit definierbaren Pattern- und Rezeptfunktionen, TEM-Lamellenpräparation inklusive In-situ Lift-Out, Thinning und abschließender Feinpolitur, APT-Spitzenpräparation (Needle Milling) inklusive reproduzierbarer Geometrie, korrelierte Echtzeit-Bildgebung im SEM während der FIB-Bearbeitung, chemische Analytik mittels EDX sowie kristallographische Analytik mittels EBSD (Punkt, Linie, Mapping), 3D-Workflows (Serienschliff/Tomographie) mit dokumentierter Rekonstruktion bzw. Export der Datensätze sowie Workflow- und Datenmanagement mit eindeutiger Zuordnung von Bearbeitungs-/Messdaten, Parametern und Metadaten und Export in nicht proprietäre Formate.

AUFTRAGGEBER

KLASSIFIZIERUNG

LOSE (2)

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