Aktivted-368559-2026
Messwerkzeug für dünne Schichten für 200/300 mm Wafer
Beschaffung eines dünnschichtmessgeräts für die Forschung an FD-SOI-Technologien (10 nm und darüber). Das Gerät muss Ellipsometrie und Spektralreflexion für präzise Messungen auf 200/300 mm Wafern in Reinraumklasse 100 integrieren.
AUFTRAGGEBER
Name
CEA/GRENOBLE
Stadt
Grenoble
Land
FR
KLASSIFIZIERUNG
Verfahrensart
neg-w-call
Auftragsart
Lieferungen
Haupt-CPV
31700000, Elektronische, elektromechanische und elektrotechnische Ausrüstung.
Weitere CPV
31712100, Mikroelektronische Maschinen und Apparate.
WEITERE DETAILS
EU-finanziert
Ja
Elektronische Einreichung
Erforderlich
Rechtsgrundlage
32014L0024
FRISTEN & ZEITRAUM
Angebotsfrist
1 Tag verbleibend(LOT-0001)
Veröffentlicht